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關(guān)于Semi-KLEEN Sapphire藍寶石等離子體清洗機 SEMI-KLEEN 和 EM-KLEEN 系列遠程等離子體清洗機基于勞倫斯伯克利國家實驗室開發(fā)的高效電感耦合等離子體(ICP)放電技術(shù)。與傳統(tǒng) ICP 放電技術(shù)相比,我們的 Turbo Discharge™技術(shù)進一步提高了等離子體強度多達 3 倍。