Semi-KLEEN Sapphire藍寶石等離子體清洗機

簡要描述：關于Semi-KLEEN Sapphire藍寶石等離子體清洗機
SEMI-KLEEN 和 EM-KLEEN 系列遠程等離子體清洗機基于勞倫斯伯克利國家實驗室開發的高效電感耦合等離子體（ICP）放電技術。與傳統 ICP 放電技術相比，我們的 Turbo Discharge™技術進一步提高了等離子體強度多達 3 倍。

產品型號：

所屬分類：Semi-KLEEN Sapphire 等離子清洗機

更新時間：2025-06-25

廠商性質：生產廠家

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詳情介紹

Semi-KLEEN Sapphire藍寶石等離子體清洗機產品簡介

Semi-KLEEN Sapphire藍寶石等離子體清洗機設計用于支持侵蝕性和腐蝕性工藝氣體。等離子室已被更耐化學腐蝕的藍寶石管所取代。真空密封設計和腔室材料的選擇已被優化，以支持等離子體內部的腐蝕性自由基。對于需要對石英腔室進行等離子體蝕刻的應用，SEMI-KLEEN 藍寶石是比傳統石英腔室等離子體源更好的選擇。

Semi-KLEEN Sapphire藍寶石等離子體清洗機

Semi-KLEEN Sapphire藍寶石等離子體清洗機產品應用

Semi-KLEEN Sapphire藍寶石等離子體清洗機已被用于存款薄膜，在原子層沉積系統中薄膜沉積之前清潔樣品表面，以及從金屬表面清潔碳和氧污染物?？蛻舻臏y試結果表明，SEMI-KLEEN 等離子體源僅需 2 秒的氫等離子體就可以去除 InGaAs 樣品中的碳和氧污染物。SEMI-KLEEN 藍寶石等離子體源可用于僅由渦輪泵或粗抽泵泵送的下游腔室。它可以在<0.5mTorr 到 2 Torr 以上的壓力范圍內工作。

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