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KLA Tencor® P-17探針式輪廓儀

簡要描述：KLA Tencor® P-17探針式輪廓儀為生產和研發環節提供從幾納米到一毫米的臺階高度測量功能。該系統支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行二維(2D)和三維(3D)測量，掃描范圍可達200毫米，無需拼接。

產品型號：

所屬分類：探針式輪廓儀

更新時間：2025-03-17

廠商性質：生產廠家

詳情介紹

KLA Tencor® P-17探針式輪廓儀是第八代臺式探針式輪廓儀，它凝結了逾40年的表面量測經驗。該行業的系統支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行二維(2D)和三維(3D)測量，掃描范圍可達200mm，無需拼接。

出色的測量穩定性通過結合UltraLite®傳感器、恒力控制和超平掃描樣品臺實現。通過使用點擊式樣品臺控制、頂視和側視光學元件以及具有光學變焦功能的高分辨率相機，可快速輕松地設置程式。KLA Tencor® P-17探針式輪廓儀支持2D或3D測量，可使用多種濾波、調平和分析算法來測量表面形貌。通過圖形識別、序列和特征檢測實現全自動測量。

KLA Tencor® P-17探針式輪廓儀

特征

  • 臺階高度：納米級到1000微米

  • 恒力控制：0.03至15mg

  • 無需拼接即可掃描樣品的全直徑

  • 視頻：5MP高分辨率彩色相機

  • 弧形校正：可消除探針的弧形運動引起的誤差

  • 軟件：簡單易用的軟件界面

  • 生產能力：具有測序、圖形識別和SECS/GEM功能的全自動測量

KLA Tencor® P-17探針式輪廓儀

應用

  • 臺階高度：2D和3D臺階高度

  • 紋理：2D和3D粗糙度和波紋度

  • 形狀：2D和3D翹曲形狀

  • 應力：2D和3D薄膜應力

  • 缺陷檢測：2D 和 3D 缺陷表面形貌

工業

  • 高校、實驗室和研究所

  • 半導體和化合物半導體

  • LED：發光二極管

  • 太陽能

  • MEMS:微機電系統

  • 數據存儲

  • 汽車

  • 醫療器械






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