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KLA Tencor® P-7探針式輪廓儀

簡要描述：KLA Tencor® P-7探針式輪廓儀為生產和研發環節提供了從幾納米到一毫米的臺階高度測量功能。該系統支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行二維(2D)和三維(3D)測量，掃描范圍可達150毫米，無需拼接。

產品型號：

所屬分類：探針式輪廓儀

更新時間：2025-08-14

廠商性質：生產廠家

詳情介紹

KLA Tencor® P-7探針式輪廓儀以市場的Tencor P-17臺式探針式輪廓儀系統為基礎。它涵蓋了P-17的優秀測量性能，為臺式探針式輪廓儀提供了出色的性價比。KLA Tencor® P-7探針式輪廓儀支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，掃描范圍可達150mm，無需拼接。

KLA Tencor® P-7探針式輪廓儀


特征

  • 臺階高度：納米級到1000微米

  • 恒定力控制：0.03至15mg

  • 樣品的全直徑掃描，無需拼接

  • 視頻：5MP高分辨率彩色相機

  • 弧形校正：可消除探針的弧形運動引起的誤差

  • 軟件：簡單易用的軟件界面

  • 生產能力：全自動測量，具有測序、圖形識別和SECS/GEM功能

KLA Tencor® P-7探針式輪廓儀

應用

  • 臺階高度：2D和3D臺階高度

  • 紋理：2D和3D粗糙度和波紋度

  • 形狀：2D和3D翹曲、形狀

  • 應力：2D和3D薄膜應力

  • 缺陷檢測：2D和3D缺陷表面形貌


       

  • KLA Tencor® P-7探針式輪廓儀

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