TEM cube多用途樣品清潔及儲(chǔ)存腔室

簡(jiǎn)要描述：TEM cube多用途樣品清潔及儲(chǔ)存腔室可用于在高真空下存儲(chǔ)多達(dá) 8 個(gè) TEM 樣品架（極限真空在 10 -7 Torr 范圍內(nèi)）。真空度足夠高，可以檢查原位 TEM 芯片的泄漏。它還可以配備遠(yuǎn)程 EM-KLEEN 等離子源，以在腔室中進(jìn)行等離子清潔。腔室的大小為 9 英寸立方。它可以擬合相當(dāng)大的 TEM 和 SEM 樣品和組件。房間有一個(gè)玻璃前門用于觀察。

產(chǎn)品型號(hào)：

所屬分類：多用途樣品清潔及儲(chǔ)存腔室

更新時(shí)間：2025-06-24

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

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詳情介紹

TEM cube多用途樣品清潔及儲(chǔ)存腔室是高真空 TEM 樣品架儲(chǔ)存、泄漏檢查和等離子體清潔室

TEM cube多用途樣品清潔及儲(chǔ)存腔室可用于在高真空下存儲(chǔ)多達(dá) 8 個(gè) TEM 樣品架（極限真空在 10 -7 Torr 范圍內(nèi)）。真空度足夠高，可以檢查原位 TEM 芯片的泄漏。它還可以配備遠(yuǎn)程 EM-KLEEN 等離子源，以在腔室中進(jìn)行等離子清潔。腔室的大小為 9 英寸立方。它可以擬合相當(dāng)大的 TEM 和 SEM 樣品和組件。房間有一個(gè)玻璃前門用于觀察。

標(biāo)準(zhǔn)泵送配置是將腔室直接放置在 Pfeiffer 渦輪分子泵站的頂部。但也可以使用干式渦旋泵對(duì)腔室進(jìn)行泵送。

與我們的常規(guī) TEM 樣品架真空儲(chǔ)存站相比，TEM cube多用途樣品清潔及儲(chǔ)存腔室上的每個(gè)儲(chǔ)存端口都不能單獨(dú)通風(fēng)或抽氣，因?yàn)樗袃?chǔ)存端口共享同一個(gè)大真空室。取回 TEM 樣品架需要更長(zhǎng)的時(shí)間，因?yàn)楸仨殞?duì)整個(gè)腔室進(jìn)行通風(fēng)才能取回一個(gè)存放的 TEM 樣品架。

如果腔室上安裝了 EM-KLEEN 等離子體源，則可以使用 TEM 立方體對(duì) TEM 樣品架和樣品進(jìn)行等離子清洗。但 EM-KLEEN 等離子源只能接受一個(gè)氣體輸入。獨(dú)立的 Tergeo-EM 等離子清洗機(jī)最多可使用三種工藝氣體。TEM 立方體的排氣和抽氣時(shí)間也比獨(dú)立的 Tergeo-EM 等離子體系統(tǒng)長(zhǎng)。Tergeo-EM 等離子系統(tǒng)還具有全自動(dòng)作和更高的系統(tǒng)集成水平。

TEM cube多用途樣品清潔及儲(chǔ)存腔室

規(guī)格：

極限真空度：10-7 Torr 中
TEM 樣品架適配器：最多 8 個(gè)，每側(cè) 4 個(gè)。
腔室尺寸：9 英寸 X 9 英寸 X 9 英寸。
腔室門：帶鎖定旋鈕的鉸鏈玻璃窗。
泵口：底部渦輪分子泵站為 ISO63。或 NW40/NW25 端口，用于干式渦旋泵。
NW40 或 NW25 端口，用于全量程壓力傳感器。

應(yīng)用：

用于 TEM 樣品架、TEM 樣品和大型 EM 組件的高真空存儲(chǔ)。
原位 TEM 樣品架和芯片泄漏檢查。
TEM 支架、樣品和組件的等離子清洗。

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TEM cube多用途樣品清潔及儲(chǔ)存腔室

TEM cube多用途樣品清潔及儲(chǔ)存腔室是高真空 TEM 樣品架儲(chǔ)存、泄漏檢查和等離子體清潔室

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