Tergeo-Pro桌面等離子清洗機(jī)

簡要描述：Tergeo-Pro桌面等離子清洗機(jī)和蝕刻機(jī)專為研究、開發(fā)和小批量生產(chǎn)而量身定制。Tergeo系列桌面等離子清洗機(jī)在表面清洗、活化、有機(jī)污染物去除、粘合增強(qiáng)和光刻膠灰化方面表現(xiàn)出色。其精度和多功能性使其成為納米技術(shù)、材料科學(xué)、微加工和故障分析應(yīng)用的理想選擇。憑借免維護(hù)設(shè)計(jì)和低擁有成本，Tergeo 系統(tǒng)提供了長期價(jià)值。

產(chǎn)品型號：

所屬分類：Tergeo-Pro桌面等離子清洗機(jī)

更新時(shí)間：2025-08-14

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

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詳情介紹

　　Tergeo-Pro桌面等離子清洗機(jī)未來將腔室直徑增加到 9″(230 mm)。腔室的深度增加到 13.4″(430 mm)。

　　清洗機(jī)足夠大，可以容納 8 英寸晶圓。它也足夠大的一個(gè)或兩個(gè) 25/50 插槽 6“或 4”石英晶圓船。可以具有 150 瓦、300 瓦或 500 瓦的射頻功率。射頻功率可以以 1 瓦的間隔進(jìn)行調(diào)整。射頻功率的頻率為 13.56MHz，這提供了比 KHz 射頻等離子體系統(tǒng)高得多的等離子體產(chǎn)生效率。不僅可以調(diào)節(jié)射頻功率瓦數(shù)，還可以產(chǎn)生連續(xù)或脈沖等離子體。脈沖比可以從 100%調(diào)整到小于 1%。石英腔室壁結(jié)構(gòu)使外部電容耦合射頻電極設(shè)計(jì)成為可能，從而在整個(gè)腔室中產(chǎn)生更均勻的等離子體。

　　規(guī)格和特點(diǎn)：

　　*Tergeo-Pro桌面等離子清洗機(jī)的應(yīng)用與較小的 Tergeo桌面等離子清洗機(jī)相似，不同之處在于它可以接受更大的樣品。以下是典型應(yīng)用的列表：

　　光致抗蝕劑灰化、除渣和硅晶片清洗

　　在引線鍵合、倒裝芯片封裝、PCB 封裝之前清潔芯片

　　生物醫(yī)用涂層前的表面處理及提高醫(yī)用植入物的親水性

　　環(huán)氧樹脂粘合前的光學(xué)、玻璃、光纖頭和基板清潔

　　PDMS、微流體、載玻片和芯片實(shí)驗(yàn)室

　　改善金屬對金屬或復(fù)合材料的粘合

　　改善塑料、聚合物和復(fù)合材料的粘合

　　產(chǎn)品特點(diǎn)：

　　大樣品室(ID：9″/230 mm，深度：13.4″ /340 mm)。足以容納 8 英寸晶圓，一個(gè)或兩個(gè) 25/50 插槽 6″/4″石英晶圓舟。

　　等離子體放電方法：電容耦合等離子體放電與外部彎曲放電電極。

　　連續(xù)和脈沖等離子體。脈沖比可以從 100%(連續(xù))變?yōu)樾∮?1%。Tergeo 等離子體系統(tǒng)不僅可以通過 1 瓦的間隔調(diào)整射頻功率，而且可以產(chǎn)生連續(xù)和脈沖等離子體。使等離子體強(qiáng)度改變幾個(gè)數(shù)量級以上。

　　操作方式：自動(dòng)配方執(zhí)行、自動(dòng)作業(yè)順序執(zhí)行、手動(dòng)操作。

　　等離子體傳感器：等離子體強(qiáng)度傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測等離子體狀態(tài)，并向用戶提供關(guān)于不同配方條件下等離子體強(qiáng)度的定量反饋。等離子體傳感器還可以監(jiān)測等離子體灰化過程的進(jìn)展并用作終點(diǎn)指示器。等離子體強(qiáng)度實(shí)時(shí)顯示在 LCD 觸摸屏上。

　　先進(jìn)的過程控制功能：壓力傳感器、溫度傳感器、MFC 氣體流量計(jì)、等離子體強(qiáng)度傳感器、自動(dòng)阻抗匹配。

　　滅菌室設(shè)計(jì)：鋁法蘭和厚壁高純度石英管增強(qiáng)了耐化學(xué)性，減少了派熱克斯玻璃中的堿性雜質(zhì)(Ca、K、Na)。

　　樣品保持器：4mm 厚高純石英板，尺寸：220 mm X 280 mm。

　　腔體尺寸：內(nèi)徑：9″/230 mm;外徑：9. 44 ″/240 mm;深度：13. 4 ″/340 mm。

　　RF 電極：圍繞石英管纏繞的外部電容耦合 RF 電極。外部射頻電極設(shè)計(jì)能夠?qū)崿F(xiàn)更大、更均勻的等離子體體積，并且還消除了與內(nèi)部金屬射頻電極設(shè)計(jì)相關(guān)的離子濺射和加熱問題。

　　射頻電源：13.56MHz 高頻射頻電源，具有自動(dòng)阻抗匹配功能。射頻功率有三種選擇：13.56MHz 時(shí)的 150 瓦、300 瓦和 500 瓦。射頻功率可以以 1 瓦的間隔進(jìn)行調(diào)整。13.56 與低效率、低成本的 KHz 電源相比，MHz 射頻電源產(chǎn)生的等離子體密度要高得多。

　　氣體輸入：多達(dá)三個(gè) MFC 控制氣體輸入(0~ 100 sccm)。一個(gè)額外的端口用于通風(fēng)和吹掃。1/4 英寸世偉洛克壓縮接頭連接器。

　　用戶界面：7 英寸電阻式觸摸屏，用手指觸摸，無需手寫筆。

　　食譜和工作支持：共有 20 個(gè)可定制的食譜。作業(yè)序列中最多三個(gè)清潔步驟。