簡要描述：KLA Candela® 8720表面缺陷檢測系統*的集成式表面和光致發光(PL)缺陷檢測系統可以捕獲各種關鍵襯底和外延缺陷。采用統計制程控制(SPC)的方法來進行自動晶圓檢測，可顯著降低由外延缺陷導致的良率損失，最大限度地減少金屬有機化學氣相沉積(MOCVD)反應器的工藝偏差，并增加MOCVD反應器的正常運行時間。
產品型號：
所屬分類：表面缺陷檢測系統
更新時間：2025-08-14
廠商性質：生產廠家
KLA Candela® 8720表面缺陷檢測系統采用專有的光學技術，可同時測量兩個入射角的散射強度。它可以捕捉到形貌變化、表面反射率、相位變化和光致發光，從而對各種關鍵缺陷進行自動檢測與分類。應用包括射頻、功率和高亮度LED的氮化鎵檢測，能夠檢測裂紋、晶體位錯、小丘、微坑、滑移線、凸點和六角凸點以及外延缺陷。KLA Candela® 8720表面缺陷檢測系統還可用于其他化合物半導體工藝材料的缺陷檢測，例如用于LED、垂直腔面發射激光器和光子學應用的砷化鎵和磷化銦。
對直徑達200毫米的化合物半導體材料進行缺陷檢測。
支持各種晶圓厚度
適用于宏觀和微觀缺陷，如裂紋、多量子阱擾動、微粒、劃痕、凹坑、凸起和沾污缺陷
襯底質量控制
襯底供應商對比
入廠晶圓質量控制(IQC)
出廠晶圓質量控制(OQC)
CMP（化學機械拋光工藝）/拋光工藝控制
晶圓清洗工藝控制
外延工藝控制
襯底與外延缺陷關聯
外延反應器供應商的對比
工藝機臺監控
高亮度LED、微型LED包括AR|VR
氮化鎵的射頻和氮化鎵的功率應用
通信（5G、激光雷達、傳感器）
其他化合物半導體器件
SECS-GEM
信號燈塔
金剛石劃線
校準標準
離線軟件
光學字符識別(OCR)
光致發光
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