SPIN150x 高質(zhì)量基底旋涂機

簡要描述：SPIN150x 高質(zhì)量基底旋涂機可實現(xiàn)精準且可重復(fù)的工藝控制。其材質(zhì)為天然聚丙烯（NPP），也可選擇具有耐化學(xué)性的聚四氟乙烯（PTFE）。這款經(jīng)過充分驗證的機型推出了新版本，分為標準版和高級版。它非常適合處理各種基底，包括直徑最大 150 毫米的圓形基底或尺寸為 100×100 毫米的方形樣品。

產(chǎn)品型號：

所屬分類：SPIN150x 高質(zhì)量基底旋涂機

更新時間：2025-08-15

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

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詳情介紹

SPIN150x 高質(zhì)量基底旋涂機

設(shè)計

外殼和排水設(shè)計便于在桌面式和內(nèi)置式機型之間切換。模塊化設(shè)計使用戶能夠通過多種不同的配件升級設(shè)備，從而簡化分配操作和整體處理流程。

液體過濾捕集器

SPINx 系列配備液體過濾捕集器，用于保護旋涂機的關(guān)鍵部件。它能將通過處理腔室或真空卡盤進入真空管路的所有液體或抗蝕劑收集在液體容器中。通過旋涂機外殼上的開口可查看該容器，便于維護。

自動蓋子

可通過用戶界面或腳踏板（非常適合手套箱環(huán)境使用）自動打開和關(guān)閉蓋子。此外，還可以在工藝配方的最后一步自動打開蓋子。

電機回零位置

新款 SPINx 系列能夠設(shè)定電機回零位置，便于集成到機器人控制 / 自動化環(huán)境中。

標準配件：

適用于 4-6 英寸晶圓的真空卡盤
適用于 10 毫米及更大尺寸碎片的碎片適配器

適用工藝：

涂層
清潔
漂洗 / 干燥
顯影
蝕刻
PDMI 及其他工藝

硬件規(guī)格：

液體過濾捕集器
自動蓋子（高級版還可通過腳踏板控制）
可編程電機回零位置
用于注射器或分配噴嘴的中心注射支架
用于用戶安全的蓋子鎖和真空傳感器
大尺寸（可拆卸）觸摸顯示屏
用于在 USB 驅(qū)動器上存儲配方和進行軟件更新的 USB 端口
驅(qū)動單元規(guī)格：間接式無刷驅(qū)動單元，最高 12,000 轉(zhuǎn) / 分；高加速度和精度，1-30,000 轉(zhuǎn) / 分；順時針 / 逆時針旋轉(zhuǎn)和 puddle 模式；可在桌面式和內(nèi)置式機型之間切換的設(shè)計